
雜質濃度測試儀(yi)
產(chan) 品型號: KDB-1A
產(chan) 品簡介
原理:根據矽、鍺單晶的遷移率、電阻率和雜質濃度的關(guan) 係,可直接測量、計算出晶體(ti) 內(nei) 的雜質濃度。
範圍:它適合於(yu) 測量橫截麵尺寸是可測量的,而且棒的長度大於(yu) 橫截麵線度的有規則的長棒,例如橫斷麵為(wei) 圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。
用途:根據測量沿錠長雜質濃度的分布狀況決(jue) 定產(chan) 品的合格部分,通過雜質濃度的直接測量,決(jue) 定晶體(ti) 生長過程中的摻雜數量。
樣品可在常溫或低溫下測量。
顯示方式:儀(yi) 器連接PC機,通過測試軟件計算,用對數坐標的方式來顯示雜質濃度(含次方數)沿錠長的分布曲線,可對曲線圖進行打印和保存。
測量範圍: 可測晶體(ti) 電阻率:0.005-3000Ω·cm。
直流數字電壓表測量範圍:0-199.99mV,靈敏度:10μA。